Опубликовано: 1 октября 2026 г.
«Активная Фотоника» и «ПЛАНАР» объединяют технологии для высокоточных измерений на пластинах
Высокоточное измерение электрических характеристик полупроводниковых компонентов непосредственно на кремниевой пластине станет возможным благодаря сотрудничеству двух российских компаний – «Активная Фотоника» (Зеленогргад) и «ПЛАНАР» (Челябинск). Они собираются вместе создать автоматическую систему для определения параметров устройств на пластине. Соглашение о таком намерении предприятия подписали 30 сентября на форуме «Микроэлектроника-2026».
Новый прибор сможет исследовать кристаллы до того, как они будут разрезаны и упакованы в корпуса. Это поможет решать критически важные задачи на этапах разработки и серийного производства микросхем, особенно в области радиочастотной, микроволновой и сверхвысокочастотной электроники.
Для создания высокоточного аппаратно-программного комплекса задействуют полуавтоматические зондовые станции, которые разрабатывает и производит «Активная Фотоника», и векторные анализаторы цепей, выпускаемые «ПЛАНАРОМ». Зондовая станция сможет без вмешательства оператора перемещать пластины от чипа к чипу и автоматически подводить к ним микрозонд. Это в сотни раз сократит процесс тестирования пластины по сравнению с ручными измерениями. При этом векторные анализаторы цепей помогут микрозонду на наноуровне измерять емкостные свойства материала с точностью до цептофарад. Это даст возможность точно определять профили легирующих примесей, картировать плотность состояний, изучать локальный ферромагнитный резонанс, пьезоэлектрические и сегнетоэлектрические свойства. При этом контакт зонда с материалом не требуется, а значит, нет риска повредить или разрушить полупроводниковую структуру.
Электрическое тестирование компонентов с максимально возможной на сегодня точностью можно будет проводить сразу после технологических процессов формирования электронных компонентов. Предприятиям микроэлектроники это поможет на раннем этапе отбраковывать непригодные чипы, а ученые смогут собирать точные данные для построения математических и физических моделей полупроводниковых приборов. Также столь точные данные измерений облегчат создание новых микросхем.
ООО "Активная Фотоника" (входит в Группу компаний "НТ-МДТ"), разрабатывает и производит научно-исследовательское оборудования и специализированноеконтрольно-измерительное и аналитическое технологическое оборудования для кристального производства.
ООО "ПЛАНАР" - российская приборостроительная компания из Челябинска, основанная в 1992 году. Производит высокотехнологичное электронное оборудование, радиоизмерительные приборы, анализаторы цепей и аппаратуру для сетей связи.
Российский форум "Микроэлектроника" - ключевое событие года в мире электронных технологий. Площадка, задуманная как диалог между разработчиками электронной компонентной базы и производителями готовой продукции, вызывает колоссальный интерес участников всех отраслей промышленности. Цель мероприятия – комплексно рассмотреть актуальные вопросы разработки, производства и применения отечественной электронной компонентной базы и высокоинтегрированных электронных модулей; содействовать развитию отечественной микроэлектроники, представить разработки и возможности современных технологий.