Метод Модуляции Силы

В процессе реализации Метода Модуляции Силы одновременно со сканированием образца в соответствии с Методом Постоянной Силы сканер (или образец) совершает вертикальные периодические колебания. При периодическим движении кантилевер «чувствует» поверхность образца. При этом давление зонда на поверхность образца не остается постоянной, но содержит периодическую (обычно синусоидальную) компоненту. В соответствии с локальной жесткостью образца величина соответствующих вмятин будет изменяться в процессе сканирования. На жестких участках поверхности образца вмятины будут мельче, а на мягких участках – глубже.

Отслеживание рельефа поверхности образца проводится с использованием усредненного изгиба кантилевера в системе обратной связи. Если известны величины вертикального смещения сканера D_z, вертикального смещения зонда D и жесткость кантилевера K_c, то можно определить локальную жесткость исследуемого образца K_s

K_s = K_с· (Dz/D - 1)

В свою очередь при известной локальной жесткости можно определить модуль упругости образца. Это может быть сделано с использованием калтибровочных измерений или с использованием модели Герца. Метода Модуляции Силы широко используется при исследованиях полимеров, полупроводников, биообъектов, в особенности при исследованиях композитов.