Высота ступеньки — среднее значение, основанное на измерениях 5 решеток из партии в 300 штук. Тестирование проводится на АСМ, откалиброванном решеткой TGZ4, сертифицированной в PTB.  Основное значение высоты ступени может изменяться в пределах партии на 10%  от значения, данного в спецификации.

АСМ изображением решетки TGZ3 (высота ступеньки 520нм).