Спецификация:

• Размер образца — 5х5х0,3 мм ³
• Среднее расстояние между ступеньками — 0,2-0,5 мкм
• Угол разориентации поверхности ~ 0.3 °
• Высота ступеньки 1.5 нм
• Средняя шероховатость по поверхности ступеньки — 0,09 нм

Рис. 1. 3D АСМ изображение 10×10 мкм	Рис. 2. АСМ изображение 1,6×1,6 мкм

Рис.3 Высота спектров

Процедура калибровки

Для калибровки движения сканера АСМ вдоль оси Z необходимо выполнить следующие операции:

• Поместите калибровочный образец SiC-1,5 нм на плоскую горизонтальную рабочую область под зондом АСМ.
• Подойдите к зонду АСМ к поверхности образца и выполните топографическое сканирование в режиме измерения высоты, используя размер сканирования около 10 мкм (рис. 1). Убедитесь, что на поверхности нет пыли, и выберите для дальнейших измерений площадь около 1,5×1,5 мкм ² .
• После получения качественного АСМ-изображения площади поверхности за несколько шагов используйте программный фильтр, чтобы сгладить изображение так, чтобы каждый отдельный шаг становился горизонтальным (рис. 2). Выберите область на AFM-изображении для получения спектров высоты, используя возможности программного обеспечения AFM. Пожалуйста, выберите район с максимальным количеством шагов для лучшей статистики. После получения спектров высоты с пиками, соответствующими каждому шагу, измерьте межпиковые расстояния. Обратите внимание, что расстояния между соседними пиками могут немного отличаться (см. Рис.3), поэтому полезно усреднять расстояния между пиками путем измерения расстояния между дальними пиками и деления измеренного значения на количество включенных межпиковых расстояний (AA на рис. 3). Измените калибровочную константу сканера, пока среднее межпиковое расстояние станет 1,5 нм.