SiC/1.5

 9 600,0

Калибровочный образец на основе 6H-SiC (0001) предназначен для простой калибровки вертикального перемещения сканера АСМ с интервалом в несколько нанометров. Простота процесса калибровки обеспечивается почти равномерным распределением однослойных высоких (1,5 нм) ступеней на поверхности образца, демонстрирующих химическую и механическую стабильность. Высота шага соответствует постоянной решетки кристалла 6H-SiC в направлении [0001].

Спецификация:

  • Размер образца — 5х5х0,3 мм 3
  • Среднее расстояние между ступеньками — 0,2-0,5 мкм
  • Угол разориентации поверхности ~ 0.3 °
  • Высота ступеньки 1.5 нм
  • Средняя шероховатость по поверхности ступеньки — 0,09 нм
Рис. 1. 3D АСМ изображение 10×10 мкм Рис. 2. АСМ изображение 1,6×1,6 мкм Рис.3 Высота спектров

Процедура калибровки

Для калибровки движения сканера АСМ вдоль оси Z необходимо выполнить следующие операции:

  • Поместите калибровочный образец SiC-1,5 нм на плоскую горизонтальную рабочую область под зондом АСМ.
  • Подойдите к зонду АСМ к поверхности образца и выполните топографическое сканирование в режиме измерения высоты, используя размер сканирования около 10 мкм (рис. 1). Убедитесь, что на поверхности нет пыли, и выберите для дальнейших измерений площадь около 1,5×1,5 мкм 2 .
  • После получения качественного АСМ-изображения площади поверхности за несколько шагов используйте программный фильтр, чтобы сгладить изображение так, чтобы каждый отдельный шаг становился горизонтальным (рис. 2). Выберите область на AFM-изображении для получения спектров высоты, используя возможности программного обеспечения AFM. Пожалуйста, выберите район с максимальным количеством шагов для лучшей статистики. После получения спектров высоты с пиками, соответствующими каждому шагу, измерьте межпиковые расстояния. Обратите внимание, что расстояния между соседними пиками могут немного отличаться (см. Рис.3), поэтому полезно усреднять расстояния между пиками путем измерения расстояния между дальними пиками и деления измеренного значения на количество включенных межпиковых расстояний (AA на рис. 3). Измените калибровочную константу сканера, пока среднее межпиковое расстояние станет 1,5 нм.

Отзывы

Отзывов пока нет.

Только зарегистрированные клиенты, купившие этот товар, могут публиковать отзывы.

Нужна помощь? Контакты Оставить Отзыв

Поделиться


ЗАДАЙТЕ ВОПРОС ЭКСПЕРТУ: