Калибровочная решетка TDG01 для субмикронной по X/Y калибровки, период 278нм.

Мера периода линейная TDG01 относится к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^-9 ÷ 10^{-4 м} и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, сканирующих близкопольных оптических микроскопов и других средств измерений малой длины.

Мера представляет собой совокупность протяженных шаговых структур на поверхности халькогенидного стекла с внешним диаметральным размером 12,5 мм и диаметральным размером рабочей области – 9 мм. Мера состоит из одинаковых шаговых структур с синусоидальной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры.