Технические характеристики:

• Размер чипа — 5х5х0,3 мм ³
• Среднее расстояние между шагами — 0,15-0,4 мкм
• Разориентация поверхности ~ 0,2 °
• Высота одного шага 0,75 нм
• Средняя шероховатость области между ступенями (террасами) — 0,09 нм

Рис. 1. 3D АСМ изображение 10×10 мкм	Рис. 2. АСМ изображение 1,6х1,6 мкм

Рис.3 Высота спектров

Процедура калибровки

Для калибровки движения сканера АСМ вдоль оси Z необходимо выполнить следующие операции:

• Поместите калибровочный образец SiC-0,75 нм на плоскую горизонтальную рабочую область под зондом АСМ.
• Подойдите к зонду АСМ к поверхности образца и выполните топографическое сканирование в режиме измерения высоты, используя размер сканирования около 5 мкм (рис. 1). Убедитесь, что на поверхности нет пыли, и выберите для дальнейших измерений площадь около 1,5×1,5 мкм ² .
• После получения качественного АСМ-изображения площади поверхности за несколько шагов используйте программный фильтр, чтобы сгладить изображение так, чтобы каждый отдельный шаг становился горизонтальным (рис. 2). Выберите область на AFM-изображении для получения спектров высоты, используя возможности программного обеспечения AFM. Пожалуйста, выберите район с максимальным количеством шагов для лучшей статистики. После получения спектров высоты с пиками, соответствующими каждому шагу, измерьте межпиковые расстояния. Обратите внимание, что расстояния между соседними пиками могут немного отличаться (см. Рис.3), поэтому полезно усреднять расстояния между пиками путем измерения расстояния между дальними пиками и деления измеренного значения на количество включенных межпиковых расстояний (AA на рис. 3). Измените калибровочную константу сканера, в то время как среднее межпиковое расстояние станет 0,75 нм.