Высокоточный XY позиционер uTRACK 300
Высокоточный многокоординатный стол на линейных магнитных двигателях обеспечивает позиционирование объекта по осям XY в диапазоне от 0 до 300 мм и вращение объекта вокруг вертикальной оси на угол от 0 до 360°.
Многокоординатный стол может широко использоваться:
- в микроэлектронной и радиоэлектронной промышленности как узел фиксации и перемещения полупроводниковых пластин, фотошаблонов, микроэлектронных сборок;
- в составе заводских установок, решающих различные задачи промышленной метрологии, инспекции, литографии.
Технические характеристики
| Максимальный размер перемещаемого объекта | ⌀300 мм |
| Максимальное перемещение по X, У | 300x300 мм |
| Точность системы обратной связи | 10 нм |
| Грузоподъёмность | 10 кг |
| Столик вращения | 360° с точностью 1' (минута) |
Ключевые особенности и преимущества
Высокие метрологические характеристики
Система обратной связи на основе оптических энкодеров гарантирует высокую точность и воспроизводимость при перемещениях стола вплоть до максимально возможного хода.
Жесткость конструкции
Жёсткая конструкция стола обеспечивает строго плоско-параллельное движение объекта с минимальным трением и минимальным люфтом.
Превосходная динамика
Благодаря использованию линейных магнитных двигателей стол обладает высокой плавностью хода и отличными динамическими характеристиками, обеспечивая выход в заданную точку координатной сетки за минимальное время.
Долговременная стабильность
Оригинальные конструктивные решения гарантируют низкий уровень температурных дрейфов и механических вибраций как при длительной непрерывной работе стола, так и при эксплуатации в статическом режиме.
Цифровое управление
Современный быстрый цифровой контроллер обеспечивает возможность программируемого управления движением стола с контролируемыми скоростями и ускорениями по координатной сетке либо по заданной сложной траектории движения, без применения механических трансмиссий.
Вакуумный прижим
Предусмотренная в конструкции стола безопасная вакуумная фиксация перемещаемого объекта гарантирует жёсткую привязку его положения к позиционной координатной сетке и отсутствие привносимой дефектности.