Зондовая станция uPROBE 200
Автоматизированная зондовая станция для проведения высокоточных измерений локальных электрических характеристик в режимах постоянных и переменных напряжений, в том числе на сверхвысоких частотах (RF), в широком диапазоне мощностей обрабатываемых сигналов.
Платформа допускает установку до 8 микрометрических позиционеров зондов различных типов с магнитной фиксацией.
Зондовая станция
Быстрое и точное моторизованное позиционирование образца в латеральной плоскости и поворота вокруг вертикальной оси при помощи шаговых двигателей. Предметный столик оснащен нагревательным устройством.
Устойчивая стальная платформа на моторизованных опорах, реализующая режимы загрузки образца, промежуточный и контактный. Платформа допускает установку до 8 микропозиционеров зондов с магнитным креплением.
Видеомикроскоп с моторизованной четырехпозиционной турелью и высокоточным фокусирующим устройством.
Гибкое программное обеспечение для управления станцией, с возможностью создания алгоритмов автоматической работы и сохранения изображений с оптического видеомикроскопа.
Технические характеристики
| Моторизованный предметный столик | |
| Область перемещения по осям X, Y | ± 100 мм |
| Разрешение перемещения | ≤ 1 мкм |
| Угол вращения | ± 180 ° |
| Разрешение вращения | ≤ 4' (угловых минут) |
| Держатель для пластин | |
| Поддерживаемые размеры образцов | Кристаллы или пластины от 25 до 200 мм |
| Способ фиксации образца | Многозонный вакуумный прижим, с ручным переключением |
| Температура нагрева образца | От +30 до +300 °С |
| Зондовая платформа | |
| Материал | Сталь |
| Разрешение платформы по оси Z | ≤ 0,3 мкм |
| Область перемещения по оси Z | 0-5 мм и 0-20 мм |
| Крепление позиционеров | Магнитное |
| Максимальное кол-во микропозиционеров | 8 шт |
| Микропозиционеры | |
| Тип микропозиционеров | Прецизионные механические с микрометрическими винтами, трёхкоординатные |
| Диапазон микропозиционирования по осям | ± 4 мм |
| Видеомикроскоп | |
| Турель для объективов | Моторизованная |
| Максимальное кол-во объективов | 4 шт |
| Осветитель | Светодиодный |
| Камера | Цветная, CMOS, 5 МП (монохромная опционально) |
Ключевые особенности и преимущества:
Возможность установки до 8 зондов - DC, СВЧ, RF, оптические зонды (зонды для исследования светоизлучающих и фотодетектирующих структур).
Возможность нагрева образца до 300°С.
Неразрушающий контроль, высокая точность и повторяемость измерений.
Измерение I-V, C-V, RF и многих других характеристик.
Диагностика образцов и пластин большого размера – до Ø200 мм.
Тестирование различных материалов – Si, широкозонные полупроводники (GaN, SiC) и т.д.
Быстрое и точное моторизованное позиционирование образца по XY и вращение вокруг Z оси.
XYZ высокоточное позиционирование зонда.
Устойчивая стальная платформа, моторизованная загрузка образца, промежуточный и контактный режимы.
Магнитное крепление микропозиционеров зондов.
Видеомикроскоп с моторизованной четырехпозиционной турелью и высокоточным фокусирующим устройством, возможность моторизации и использования автофокуса.
Гибкое программное обеспечение, возможность создания алгоритмов автоматической работы и сохранения изображений с оптического видеомикроскопа.