Профилометры

Контрольно-измерительное, аналитическое и технологическое оборудование для микроэлектроники. Серия оборудования для неразрушающего контроля, тестирования и обнаружения дефектов выпускаемых элементов микроэлектронной промышленности на разных этапах производства. Реализовано совмещение различных диагностических методов в рамках одного прибора для оптимизации процесса производства.

Профилометры
Высокоточный XY позиционер uTRACK 300

Высокоточный XY позиционер uTRACK 300

Высокоточный многокоординатный стол на линейных магнитных двигателях обеспечивает позиционирование объекта по осям XY в диапазоне от 0 до 300 мм и вращение объекта вокруг вертикальной оси на угол от 0 до 360°.

Подробнее
Зондовая станция uPROBE 200

Зондовая станция uPROBE 200

Автоматизированная зондовая станция для проведения высокоточных измерений локальных электрических характеристик в режимах постоянных и переменных напряжений, в том числе на сверхвысоких частотах (RF), в широком диапазоне мощностей обрабатываемых …

Подробнее
Инспекционная машина uVISION 300

Инспекционная машина uVISION 300

Установка оптической инспекции для автоматизированного определения дефектов готовых изделий полупроводниковой промышленности

Подробнее
Стилусный профилометр uSTEP 300

Стилусный профилометр uSTEP 300

Профилометр uSTEP 300 в конфигурации со стилусной измерительной головкой – это современный высокоточный инструмент для входного, выходного и межоперационного контроля производственных процессов.

Позволяет измерять топографию, пров…

Подробнее
Универсальный профилометр uSTEP 300

Универсальный профилометр uSTEP 300

Большой набор методов неразрушающего контроля на единой платформе. uSTEP 300 сочетает в себе методы контактного и неразрушающего контроля для возможности всесторонней оценки полупроводниковой продукции.

Подробнее
Установка 3D CD AFM pSTEP 300

Установка 3D CD AFM pSTEP 300

Установка атомно-силовой микроскопии для измерения критических размеров двухмерных и трехмерных структур сложного профиля неразрушающими методами с высоким разрешением — 3D CD AFM для решения задач метрологии и инспекции в полупроводниковой…

Подробнее