Профилометры
Контрольно-измерительное, аналитическое и технологическое оборудование для микроэлектроники. Серия оборудования для неразрушающего контроля, тестирования и обнаружения дефектов выпускаемых элементов микроэлектронной промышленности на разных этапах производства. Реализовано совмещение различных диагностических методов в рамках одного прибора для оптимизации процесса производства.
Высокоточный XY позиционер uTRACK 300
Высокоточный многокоординатный стол на линейных магнитных двигателях обеспечивает позиционирование объекта по осям XY в диапазоне от 0 до 300 мм и вращение объекта вокруг вертикальной оси на угол от 0 до 360°.
Подробнее
Зондовая станция uPROBE 200
Автоматизированная зондовая станция для проведения высокоточных измерений локальных электрических характеристик в режимах постоянных и переменных напряжений, в том числе на сверхвысоких частотах (RF), в широком диапазоне мощностей обрабатываемых …
Подробнее
Инспекционная машина uVISION 300
Установка оптической инспекции для автоматизированного определения дефектов готовых изделий полупроводниковой промышленности
Подробнее
Стилусный профилометр uSTEP 300
Профилометр uSTEP 300 в конфигурации со стилусной измерительной головкой – это современный высокоточный инструмент для входного, выходного и межоперационного контроля производственных процессов.
Позволяет измерять топографию, пров…
Подробнее
Универсальный профилометр uSTEP 300
Большой набор методов неразрушающего контроля на единой платформе. uSTEP 300 сочетает в себе методы контактного и неразрушающего контроля для возможности всесторонней оценки полупроводниковой продукции.
Подробнее
Установка 3D CD AFM pSTEP 300
Установка атомно-силовой микроскопии для измерения критических размеров двухмерных и трехмерных структур сложного профиля неразрушающими методами с высоким разрешением — 3D CD AFM для решения задач метрологии и инспекции в полупроводниковой…
Подробнее