NTEGRA Prima
Универсальный сканирующий зондовый микроскоп, реализующий более 40 методов атомно-силовой и туннельной микроскопии. Функциональные возможности базовой модели могут быть значительно расширены; микроскоп легко интегрировать с другими аналитическими методами в более сложные измерительные системы.
Применение
- Материаловедение: электрические, магнитные и механические свойства
- Полимеры и тонкие органические пленки
- Биология и биотехнология
- Наноматериалы и наноструктуры
- Нанообработка/ наноманипуляции
NTEGRA Prima — это многофункциональный прибор, успешно решающий большинство задач в области сканирующей зондовой микроскопии. В NTEGRA Prima реализовано более 40 измерительных методик, что позволяет проводить всесторонний анализ физических свойств поверхности. Микроскоп универсален по своим функциональным и измерительным возможностям, и в тоже время удобен и прост в использовании.
NTEGRA Prima предоставляет возможности для исследования образцов на атомарно-молекулярном уровне в различных средах — на воздухе, в контролируемых условиях и жидких средах. Модульный принцип конструкции обеспечивает уникальную возможность конфигурировать прибор под определённые задачи и методики исследования.
Технические характеристики
| Тип сканирования | образцом | зондом* | |
| Размер образца | до 40 мм в диаметре до 15 мм по высоте |
до 100 мм в диаметре до 15 мм по высоте |
|
| Вес образца | до 100 г | до 300 г | |
| Позиционирование образца | 5×5 мм | ||
| Точность хода подвижки образца при позиционировании | 5 мкм | ||
| Диапазон сканирования | 100x100x10 мкм до 200x200x20 мкм (в режиме DualScan) |
||
| Нелинейность по XY (с датчиками обратной связи) | ≤ 0.1% | ||
| Среднеквадратичный шум (RMS) по координате Z в полосе 1000 Гц | С датчиками | 0.04 нм (обычно), ≤0.06 нм | 0.06 нм (обычно), ≤0.07 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | 0.05 нм | |
| Оптическая видеосистема | Оптическое разрешение | 1 мкм | 3 мкм |
| Поле зрения min | 0.4х0.3 мм | 0.5х0.4 мм | |
| Поле зрения max | 4.9х3.7 мм | 6.5х4.9 мм | |
| Непрерывное приближение | доступно | ||
| Виброизоляция | Активная | 0.6-200 Гц | |
| Пассивная | более 200 Гц | ||
* Cканирующая головка может быть использована в качестве самостоятельного СЗМ для проведения измерений на больших образцах.
Возможности и ключевые особенности
Многофункциональность
NTEGRA Prima реализует более 40 измерительных методик сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), спектроскопии и литографии и является идеальным инструментом для всестороннего исследования физических свойств образца с большой точностью и высоким разрешением.
Оптический контроль и большой диапазон сканирования
Встроенная оптическая видеосистема с разрешением до 1 мкм позволяет упростить процедуру наведения луча лазера на зонд и выбрать участок поверхности для исследования, а также контролировать процесс сканирования в режиме реального времени. Система NTEGRA Prima поддерживает все типы сканирования, необходимые для различных образцов. Доступно сканирование образцом, зондом или одновременное сканирование образцом и зондом. При этом диапазон сканирования увеличивается до 200 мкм в плоскости XY и до 20 мкм вдоль оси Z.
Точность и достоверность
NTEGRA Prima имеет встроенные емкостные датчики обратной связи для всех осей (X, Y, Z). Эти датчики измеряют фактическое перемещение сканера и компенсируют паразитные свойства пьезокерамики, включая нелинейность, гистерезис и крип, с чрезвычайно низким уровнем шума. Это позволяет осуществлять контроль на малых полях — именно то, что нужно для точной нанолитографии, манипуляций нанообъектами и сканирования с высоким разрешением.
Модульная конструкция
Нанолаборатория NTEGRA разработана с открытой архитектурой аппаратного и программного обеспечения. Это позволяет использовать в приборе различные совместимые узлы и компоненты, используя простой метод «plug&play». Благодаря модульной организации можно легко изменять или расширять специализацию базового атомно-силового микроскопа. Такая конструкция обеспечивает уникальную возможность конфигурировать прибор для определённых применений и конкретных методик исследования.
Большой выбор опциональных возможностей
Благодаря открытой архитектуре функциональность NTEGRA Prima может быть значительно расширена. Модульная конструкция позволяет дополнить систему для проведения измерений во внешнем магнитном поле, экспериментов с изменением температуры образца, использовать ближнепольную оптическую микроскопию, рамановскую спектроскопию, и многие другие опции.