NSG11/tipless
Высокоразрешающие полуконтактные/бесконтактные кремниевые АСМ кантилеверы серии NSG11/tipless для бесконтактного/полуконтактного режима.
Каждый кантилевер имеет две прямоугольные балки без игл, балки расположены с разных сторон чипа. Типичная резонансная частота 255 кГц/ 150 кГц, типичная силовая константа 11.5 Н/м/ 5,5 Н/м (разброс ±20%).
Кантилеверы имеют Au отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера. Зонды упакованы в коробки по 15 штук и по 50 штук.
| Серия кантилевера | Балка | Длина балки, L±5мкм | Ширина балки, W±3мкм | Толщина балки, T±0.5мкм | Резонансная частота, кГц | Силовая константа, Н/м | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| min | typical | max | min | typical | max | |||||
| NSG11/tipless | A | 100 | 35 | 2.0 | 190 | 255 | 325 | 5.5 | 11.5 | 22.5 |
| B | 130 | 35 | 2.0 | 115 | 150 | 190 | 2.5 | 5.5 | 10.5 | |