HA_NC/tipless
Высокоразрешающие полуконтактные/бесконтактные поликремниевые АСМ кантилеверы серии HA_NC/tipless для бесконтактного/полуконтактного режима.
Каждый кантилевер имеет две прямогугольные балки без игл, балки расположены с разных сторон чипа. Типичная резонансная частота 235 кГц/ 140 кГц (разброс ±10%) , типичная силовая константа 12 Н/м/ 3,5 Н/м (разброс ±20%).
Кантилеверы имеют Au отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера. Зонды упакованы в коробки по 15 штук и по 50 штук.
| Серия кантилевера | Балка | Длина балки, L±2мкм | Ширина балки, W±3мкм | Толщина балки, T±0.15мкм | Резонансная частота, кГц | Силовая константа, Н/м | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| min | typical | max | min | typical | max | |||||
| HA_NC/tipless | A | 94 | 34 | 1.85 | 210 | 235 | 260 | 9 | 12 | 15 |
| B | 124 | 34 | 1.85 | 125 | 140 | 155 | 2.5 | 3.5 | 4.5 | |