HA_NC
Высокоточные АСМ зонды серии HA_NC предназначены для работы в полуконтактной и в бесконтактной методиках.
Каждый чип имеет 2 балки. Средние значения резонансных частот 235 кГц и 140 кГц, средние значения силовых констант 12 Н/м и 3.5 Н/м.
Кантилеверы имеют Au отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера. Доступны также кантилеверы без покрытия и кантилеверы с проводящим покрытием. Зонды упакованы в коробки по 15 штук и по 50 штук.
| Серия кантилевера | Балка | Длина балки, L±2мкм | Ширина балки, W±3мкм | Толщина балки, T±0.15мкм | Резонансная частота, кГц | Силовая константа, Н/м | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| min | typical | max | min | typical | max | |||||
| HA_NC | A | 94 | 34 | 1.85 | 210 | 235 | 260 | 9 | 12 | 15 |
| B | 124 | 34 | 1.85 | 125 | 140 | 155 | 2.5 | 3.5 | 4.5 | |