HA_HR
Высокоточные АСМ зонды с высоким значением резонансной частоты серии HA_HR предназначены для работы в полуконтактной и в бесконтактной методиках.
Каждый чип имеет 2 балки. Средние значения резонансных частот 380 кГц и 230 кГц, средние значения силовых констант 34 Н/м и 17 Н/м.
Кантилеверы имеют Au отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера. Доступны также кантилеверы без покрытия и кантилеверы с проводящим покрытием. Зонды упакованы в коробки по 15 штук и по 50 штук.
| Серия кантилевера | Балка | Длина балки, L±2мкм | Ширина балки, W±3мкм | Толщина балки, T±0.15мкм | Резонансная частота, кГц | Силовая константа, Н/м | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| min | typical | max | min | typical | max | |||||
| HA_HR | A | 93 | 34 | 3.0 | 342 | 380 | 418 | 27 | 34 | 41 |
| B | 123 | 34 | 3.0 | 207 | 230 | 253 | 13 | 17 | 21 | |