HA_FM
Высокоточные композитные АСМ зонды серии HA_FM предназначены для работы в режиме модуляции силы, в полуконтактной и в бесконтактной методиках.
Каждый чип имеет 2 балки. Средние значения резонансных частот 114 кГц и 77 кГц, средние значения силовых констант 6 Н/м и 3.5 Н/м.
Кантилеверы имеют Au отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера. Доступны также кантилеверы без покрытия и кантилеверы с проводящим покрытием. Зонды упакованы в коробки по 15 штук и по 50 штук.
| Серия кантилевера | Балка | Длина балки, L±2мкм | Ширина балки, W±3мкм | Толщина балки, T±0.15мкм | Резонансная частота, кГц | Силовая константа, Н/м | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| min | typical | max | min | typical | max | |||||
| HA_FM | A | 183 | 34 | 3.0 | 100 | 114 | 130 | 4.5 | 6 | 7.5 |
| B | 223 | 34 | 3.0 | 60 | 77 | 95 | 2.5 | 3.5 | 4.5 | |