HA_CNC
Высокоточные АСМ зонды серии HA_CNC предназначены для работы в полуконтактной и в бесконтактной методиках
Каждый чип имеет 2 балки. Средние значения резонансных частот 66 кГц и 46 кГц, средние значения силовых констант 1.5 Н/м и 1.0 Н/м.
Кантилеверы имеют Au отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера. Доступны также кантилеверы без покрытия и кантилеверы с проводящим покрытием. Зонды упакованы в коробки по 15 штук и по 50 штук.
| Серия кантилевера | Балка | Длина балки, L±2мкм | Ширина балки, W±3мкм | Толщина балки, T±0.15мкм | Резонансная частота, кГц | Силовая константа, Н/м | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| min | typical | max | min | typical | max | |||||
| HA_CNC | A | 184 | 34 | 1.85 | 59 | 66 | 75 | 1.2 | 1.5 | 1.8 |
| B | 224 | 34 | 1.85 | 41 | 46 | 51 | 0.8 | 1.0 | 1.2 | |