FMG01
Высокоразрешающие кремниевые АСМ кантилеверы серии FMG01 предназначены для полуконтактного и бесконтактного режимов сканирования, а также для режима модуляции силы.
Типичное значение резонансной частоты — 60 кГц (гарантированный диапазон: 40-96 кГц), типичное значение силовой константы — 3 Н/м (гарантированный диапазон: 1-3 Н/м). Кантилеверы имеют Au отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера. Доступны также кантилеверы без покрытия и кантилеверы с проводящим покрытием. Зонды упакованы в коробки по 15 штук и по 50 штук.
| Серия кантилевера | Длина балки, L±10мкм | Ширина балки, W±5мкм | Толщина балки, T±0.5мкм | Резонансная частота, кГц | Силовая константа, Н/м | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| min | typical | max | min | typical | max | ||||
| FMG01 | 225 | 32 | 2.5 | 40 | 60 | 96 | 1 | 3 | 5 |