TGZ3
Калибровочная решетка TGZ3 для вертикальной калибровки (высота ступенек 520±20нм) и нелинейных измерений.
Калибровочная решетка TGZ3 для вертикальной калибровки с SiO2 ступеньками высотой 520±20нм.
Высота ступеньки — среднее значение, основанное на измерениях 5 решеток из партии в 300 штук. Тестирование проводится на АСМ, откалиброванном решеткой TGZ4, сертифицированной в PTB. Основное значение высоты ступени может изменяться в пределах партии на 10% от значения, данного в спецификации.