TGSFull
Набор TGSFull состоит из 8 калибровочных решеток: TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGT1, TGQ1, TGG1, TGX1, TDG01.
Набор решеток TGSFull предназначен для:
- одновременной калибровки СЗМ по X, Y и Z;
- субмикронной калибровки СЗМ по X или Y ;
- латеральной и вертикальной калибровки;
- определения нелинейности сканера, гистерезиса, крипа;
- определения формы иглы
- 3-D визуализации иглы;
- определения остроты иглы (аспектное отношение и радиус закругления), степени изношенности и загрязнения иглы.
GZ1 — Калибровочная решетка для вертикальной калибровки со ступеньками из оксида кремния, диапазон высоты ступени 20,0±2.0 нм
TGZ2 — Калибровочная решетка для вертикальной калибровки со ступеньками из оксида кремния, диапазон высоты ступени 110,0±10 нм
TGZ3 — Калибровочная решетка для вертикальной калибровки со ступеньками из оксида кремния, диапазон высоты ступени 520 ± 20 нм
TGG1 — Калибровочная решетка для вертикальной калибровки, определения боковой и вертикальной нелинейности сканера, определения остроты иглы
TGT1 — Калибровочная решетка для определения остроты и характеристик иглы зонда
TGQ1 — Калибровочная решетка для одновременной калибровки по Z, X. Y со ступеньками высотой 20±2nm
TDG01 — Калибровочная решетка для субмикронной вертикальной калибровки, период 278нм
TGX1 — Калибровочная решетка для определения латеральной нелинейности сканера, крипа, гистерезиса, остроты иглы