TGS2

Набор калибровочных решеток TGS1 для вертикальной калибровки и нелинейных измерений.

Диапазон высоты ступенек:

TGZ1 — 20 ± 2 нм

TGZ2 — 110 ± 10 нм

TGZ3 — 520 ± 20 нм