TGQ1
Калибровочная решетка TGQ1.
Калибровочная решетка TGQ1 для одновременной калибровки по Z, X. Y со ступеньками высотой 20±2нм.
Калибровочная решетка TGQ1 предназначена для:
- одновременной калибровки по Z, X. Y;
- латеральной калибровки сканера;
- определения латеральной нелинейности, гистерезиса, крипа.