TGG1
Калибровочная решетка TGG1
Калибровочная решетка для вертикальной калибровки, определения боковой и вертикальной нелинейности сканера, определения остроты иглы.
Калибровочная решетка TGG1 предназначена для:
- калибровки АСМ по оси X или Y;
- определения боковой и вертикальной нелинейности сканера;
- определение угловых искажений;
- характеристик иглы зонды.