TDG01
Калибровочная решетка TDG01 для субмикронной по X/Y калибровки, период 278нм.
Мера периода линейная TDG01 относится к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне 10-9 ÷ 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, сканирующих близкопольных оптических микроскопов и других средств измерений малой длины.
Мера представляет собой совокупность протяженных шаговых структур на поверхности халькогенидного стекла с внешним диаметральным размером 12,5 мм и диаметральным размером рабочей области – 9 мм. Мера состоит из одинаковых шаговых структур с синусоидальной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры.
|
Наименование |
Значение |
| Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм |
0,278 |
| Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры,
не более, мкм |
± 0,001 |
| Плотность периодической структуры меры, периодов/мм |
3600 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности при формировании периодической структуры не более, % |
0,03
|
| Максимальная высота профиля меры не более, нм (не аттестуется) |
60 |
| Условия эксплуатации:
а) При работе на воздухе — температура окружающего воздуха, °С — относительная влажность, % — атмосферное давление, Па б) При работе в вакуумных условиях — диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па — температура держателя образца, оС |
20 ± 3 65 ± 15 (100 ±4)·103
1·10-4 ÷ 270 20 ± 3 |
| Масса меры должна быть не более, кг |
0,01 |
| Габаритный размер меры (Диаметр × Толщина), мм |
12.5×2.5 |
| Размер рабочей области меры (Диаметр), мм |
9.0 |