АСМ калибровка
Для определения достоверности исследований методом АСМ-микроскопии проводится тестирование и калибровка работы микроскопа и тестирование качества зондов. Для калибровки и определения рабочей формы зондов используются специальные тестовые структуры с известными параметрами рельефа поверхности. Для калибровки микроскопов в плоскости сканирования и по вертикали применяются дифракционные решетки с субмикронными размерами.
Калибровочные меры
TGX1
Калибровочная решеткаTGX1 для определения латеральной нелинейности сканера, крипа, гистерезиса, остроты иглы.
Подробнее
TGZ1
Калибровочная решетка TGZ1 для вертикальной калибровки (высота ступенек 20±2нм) и нелинейных измерений.
Подробнее
TGZ2
Калибровочная решетка TGZ2 для вертикальной калибровки (высота ступенек 110±10нм) и нелинейных измерений.
Подробнее
TGZ3
Калибровочная решетка TGZ3 для вертикальной калибровки (высота ступенек 520±20нм) и нелинейных измерений.
Подробнее
TGZ4
Калибровочная решетка TGZ4 для вертикальной калибровки (высота ступенек 1517±20нм) и нелинейных измерений.
ПодробнееНаборы калибровочных мер
TGS1F
Grating set TGS1 consists of 4 calibration gratings: TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGZ4 and intended for Z and X (or …
Подробнее
TGS1_PTB
Grating set TGS1 (consists of three gratings TGZ1, TGZ2, TGZ3) can be ordered with PTB traceable certificate.
Подробнее
TGSFull
Набор TGSFull состоит из 8 калибровочных решеток: TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGT1, TGQ1, TGG1, TGX1, TDG01.
ПодробнееПодложки
Тестовые образцы
PFM03
Тестовый образец для режима силовой микроскопии пьезоэлектрического отклика (периодически-поляризованный ниобат лития, PPLN).<…
Подробнее
SiC/0.75
Калибровочный образец на основе 6H-SiC (0001) предназначен для простой калибровки вертикального перемещения сканера АСМ с инте…
Подробнее
SiC/1.5
Калибровочный образец SiC/1.5 на основе 6H-SiC (0001) предназначен для простой калибровки вертикального перемещения скане…
Подробнее