Комплект решеток TGS2 состоит из 6 калибровочных решеток: TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGT1, TGG1, TGX1.

Решетка TGS2 может использоваться для:

• AFM калибровка в направлениях X, Y и Z;
• боковая и вертикальная калибровка;
• обнаружение боковой нелинейности;
• обнаружение гистерезиса, ползучести и перекрестных эффектов;
• обнаружение угловых искажений;
• для трехмерной визуализации сканирующего наконечника;
• определение параметров остроты наконечника (соотношение сторон и радиус кривизны), деградация наконечника и контроль загрязнения.