Большой набор методов неразрушающего контроля на единой платформе.
Профилометр позволяет проводить диагностику пластин различного диаметра вплоть до 300 мм включительно.
Система позиционирования пьезосканера работает с точностью до 25 нм в латеральной плоскости образца.