Ntegra Prima

В NTEGRA Prima реализовано несколько способов сканирования: сканирование образцом, сканирование зондом и двойное сканирование. В связи с этим система идеально подходит как для исследования небольших образцов со сверхвысоким разрешением, так и крупных образцов в диапазонах сканирования до 100 x 100 x 10 мкм. Уникальный режим *DualScan* позволяет проводить измерения в полях большого размера (200 × 200 мкм в горизонтальной плоскости и 22 мкм в вертикальном направлении), что может быть полезно при исследовании живых клеток и компонентов микроэлектромеханических систем.

Встроенные трехосевые емкостные датчики управления с обратной связью отслеживают реальное смещение сканера и компенсируют неизбежные недостатки пьезокерамики, такие как нелинейность, ползучесть и гистерезис. Для проведения режимов манипуляции и литографии необходима прецизионная координация кантилевера в малых полях до 10 × 10 нм, что обеспечивают установленные в АСМ NTEGRA Prima датчики с высоким соотношением сигнал/шум. NTEGRA Prima имеет встроенную оптическую систему с разрешением 1 мкм, с помощью которой возможно контролировать процесс сканирования в режиме реального времени.