Набор TGSFull состоит из 8 калибровочных решеток: TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGT1, TGQ1, TGG1, TGX1, TDG01.

Набор решеток TGSFull предназначен для:

• одновременной калибровки СЗМ по  X, Y и Z;
• субмикронной калибровки СЗМ по X или Y ;
•  латеральной и вертикальной калибровки;
•  определения нелинейности сканера, гистерезиса, крипа;
•   определения формы иглы
•  3-D визуализации иглы;
•  определения остроты иглы (аспектное отношение и радиус закругления), степени изношенности и загрязнения иглы.