Для определения достоверности исследований методом АСМ — микроскопии проводится тестирование и калибровка работы микроскопа и тестирование качества зондов (цена деления по X-, Y-, Z- координатам, радиус острия кантилевера, линейность и ортогональность осей сканирования). Для калибровки и определения рабочей формы зондов используются специальные тестовые структуры с известными параметрами рельефа поверхности.
Для калибровки микроскопов в плоскости сканирования и по вертикали применяются дифракционные решетки с субмикронными размерами. При отсутствии специально изготовленных калибровочных решеток, можно использовать в качестве тестового объекта для получения атомарного разрешения свежий скол слюды или высоко ориентированного пиролитического графита (ВОПГ), т.к. параметры их рельефа хорошо известны.
Преимуществами графита как тестового образца являются: стабильная работа выхода; низкая концентрация точечных и линейных дефектов; низкая химическая активность в атмосферных условиях; возможность получения атомарно — чистой поверхности.