NTEGRA PRIMA
Нанолаборатория на основе АСМ для решения широкого круга типичных задач по исследованию объектов методами зондовой микроскопии.
ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ
NTEGRA PRIMA поддерживает более 40 СЗМ методик измерений, делая возможным получение многосторонней информации о топографии и физико-химических параметрах образца. Благодаря открытой платформе прибор позволяет работать как на воздухе, так и в контролируемой среде и в жидкости.
- Поддержка высокочастотных режимов работы (до 5 МГц) режимах.
- Поддержка нерезонансных методик сканирования HYBRID 3.0
- Поддержка режима Dual Scan – область сканирования 200х200мкм
- Трехосевые датчики управления обратной связью
- Встроенная оптическая система с разрешением 1мкм
ПРИМЕНЕНИЯ
- Биология
- Нанобиотехнология
- Материаловедение
- Магнитные Материалы
- Наноматериалы и наноструктуры
- Полупроводники
- Полимеры
- Органические Пленки
- Запоминающие среды
- Нанообработка
Сканирующая Зондовая Микроскопия
На воздухе и в жидкости: АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Отображение Адгезионных Сил/ Литографии: АСМ (Силовая)
Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Технические характеристики | Тип сканирования | ||
| Сканирование образцом | Сканирование зондом* | ||
| Размер образца | До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
До 100 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
|
| Вес образца | До 100 г | До 300 г | |
| XY позиционирование образца | 5×5 мм | ||
| Разрешение позиционирования | разрешение — 5 мкм минимальное перемещение — 2 мкм |
||
| Поле сканирования | 100x100x10 мкм 3x3x2,6 мкм не более 1x1x1 мкм |
100x100x10 мкм 50x50x5 мкм |
|
| До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM) | |||
| Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) |
0.1% | 0.15% | |
| Уровень шума, Z (СКВ в полосе 1000 Гц) |
С датчиками | 0.04 нм (типично), 0.06 нм |
0.06 нм (типично), 0.07 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | 0.05 нм | |
| Уровень шума, XY*** (СКВ в полосе 200 Гц) |
С датчиками | 0.2 нм (типично), 0.3 нм (XY 100 мкм) |
0.1 нм (типично), 0.2 нм (XY 50 мкм) |
| Без датчиков | 0.02 нм (XY 100 мкм), 0.001 нм (XY 3 мкм) |
0.01 нм (XY 50 мкм), | |
| Ошибка измерения линейных размеров (с датчиками) |
±0.5% | ±1.2% | |
| Система видеонаблюдения | Оптическое разрешение | 1 мкм (0.4 мкм по требованию, NA 0.7)**** |
3 мкм |
| Поле зрения | 4.5-0.4 мм | 2.0-0.4 мм | |
| Непрерывный зум | возможно | возможно | |
| Виброизоляция | Активная | 0.7-1000 Гц | |
| Пассивная | выше 1 кГц | ||
