NTEGRA MFM
АСМ для углубленного изучения магнитных свойств материалов одновременно силовыми и оптическими методами.
ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ
NTEGRA MFM – это Сканирующий Зондовый Микроскоп ориентированный на исследования магнитной доменной структуры образцов методами магнитно-силовой микроскопии и комбинации MFM и поляризационных SNOM методик для возможности оптической визуализации доменной структуры со сверхвысоким оптическим разрешением. NTEGRA MFM позволяет получать данные о магнитных характеристиках образца с одной и той же его области как с помощью магнитных кантилеверов так и немагнитных апертурных кантилеверов, исключая возможность взаимного влияния зонда и образца друг на друга во время сканирования. Информация о морфологии образца собирается одновременно с данными о магнитных характеристиках с той же самой области образца. Опционально возможна установка внешних электромагнитов, для работы во внешнем магнитном поле, снятия петель гистерезиса и др.
ПРИМЕНЕНИЕ
- Магнитные Материалы (Доменные структуры, магнитные частицы, магнитные пленки и многослойные структуры, устройства спинтроники, зависимость магнитных свойств от внешнего магнитного поля)
- Полупроводники (Морфология подложек, распределение примесей, гетерограницы и границы p-n переходов, межфазные границы, качество и толщины функциональных слоев)
- Запоминающие среды и устройства (CD, DVD диски, накопителя терабитных ЗУ с термомеханической, электрической, емкостной и др. типами записи)
- Наноэлектроника (Квантовые точки)
ПРИМЕР использования поляризационного SNOM для визуализации доменной структуры:
Топография (слева) и доменная структура (справа) феррит- гранатовой тонкой пленки, полученные методом поляризационного SNOM. (Образцы предоставлены: А.Н. Шапошников, А.Р. Прокопов, В.Н. Бержанский — Крымский федеральный университет им. В.И. Вернадского )
Сканирующая Зондовая Микроскопия
Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Технические характеристики | Тип сканирования | |
| Сканирование образцом | ||
| Размер образца | До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
|
| Вес образца | До 100 г | |
| XY позиционирование образца | 5×5 мм | |
| Разрешение позиционирования | разрешение — 5 мкм минимальное перемещение — 2 мкм |
|
| Поле сканирования | 100x100x10 мкм 3x3x2,6 мкм не более 1x1x1 мкм |
|
| До 200x200x20 мкм(метод DualScanTM) | ||
| Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) |
0.1% | |
| Уровень шума, Z (СКВ в полосе 1000 Гц) |
С датчиками | 0.04 нм (типично), 0.06 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | |
| Уровень шума, XY (СКВ в полосе 200 Гц) |
С датчиками | 0.2 нм (типично), 0.3 нм (XY 100 мкм) |
| Без датчиков | 0.02 нм (XY 100 мкм), 0.001 нм (XY 3 мкм) |
|
| Ошибка измерения линейных размеров (с датчиками) |
±0.5% | |
| Система видеонаблюдения | Оптическое разрешение | 1 мкм (0.4 мкм по требованию, NA 0.7) |
| Поле зрения | 4.5-0.4 мм | |
| Непрерывный зум | возможно | |
| Виброизоляция | Активная | 0.7-1000 Гц |
| Пассивная | выше 1 кГц | |
