NTEGRA AURA

NTEGRA AURA

Нанолаборатория на основе зондового микроскопа, созданная для исследований в условиях контролируемой атмосферы и/или низкого вакуума. В вакууме повышается добротность колебаний кантилевера, что позволяет увеличить чувствительность, надежность и достоверность измерений. При этом, работа уже в низком вакууме 10-2 Торр обеспечивает почти десятикратное возрастание добротности.

ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ

NTEGRA AURA является высокоэффективным исследовательским комплексом методами СЗМ в вакууме, позволяя выходить на рабочий режим значительно быстрее нежели аналогичные высоковакуумные системы, при этом вакуум, обеспечивающий десятикратное увеличение добротности, достигается всего за 1 минуту! Компактность и легкость в обслуживании являются так же серьезными преимуществами  прибора.


NTEGRA AURA обладает всеми преимуществами приборов серии NTEGRA, в том числе: трехосевыми датчиками перемещения, оптикой с разрешением до 1 мкм и возможностью проведения измерений в более чем 40 методиках. NTEGRA AURA так же может быть существенно расширена, в том числе за счет измерений во внешнем магнитном поле (как горизонтальным до +/- 0,3 Т, так и вертикальным +/- 0,01 Т), и за счет модуля нагрева образца (нагревание до 300 °С с точностью поддержания температуры 0,05 °С) и т.д.


ПРИМЕНЕНИЯ

  • Магнитные Материалы
  • Полупроводники
  • Запоминающие среды и устройства
  • Наноэлектроника
  • Нанообработка
  • Наноманипуляции

Сканирующая Зондовая Микроскопия/методики

На воздухе и в жидкости: АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Отображение Адгезионных Сил/ Литографии: АСМ (Силовая)

Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/


 

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Технические характеристики Тип сканирования
Сканирование образцом Сканирование зондом*
Размер образца До 40 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту
До 100 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту
Вес образца До 100 г До 300 г
XY позиционирование образца 5×5 мм
Разрешение позиционирования разрешение — 5 мкм
минимальное перемещение — 2 мкм
Поле сканирования 100x100x10 мкм
3x3x2,6 мкм
не более 1x1x1 мкм
100x100x10 мкм
50x50x5 мкм
До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM)
Нелинейность, XY
(с датчиками обратной связи)
0.1% 0.15%
Уровень шума, Z
(СКВ в полосе 1000 Гц)
С датчиками 0.04 нм (типично),
0.06 нм
0.06 нм (типично),
0.07 нм
Без датчиков 0.03 нм 0.05 нм
Уровень шума, XY***
(СКВ в полосе 200 Гц)
С датчиками 0.2 нм (типично),
0.3 нм (XY 100 мкм)
0.1 нм (типично),
0.2 нм (XY 50 мкм)
Без датчиков 0.02 нм (XY 100 мкм),
0.001 нм (XY 3 мкм)
0.01 нм (XY 50 мкм),
Ошибка измерения линейных размеров
(с датчиками)
±0.5% ±1.2%
Система видеонаблюдения Оптическое разрешение 1 мкм
(0.4 мкм по требованию,
NA 0.7)****
3 мкм
Поле зрения 4.5-0.4 мм 2.0-0.4 мм
Непрерывный зум возможно возможно
Виброизоляция Активная  0.7-1000 Гц
Пассивная выше 1 кГц


ЗАДАЙТЕ ВОПРОС ЭКСПЕРТУ: