NTEGRA AURA
Нанолаборатория на основе зондового микроскопа, созданная для исследований в условиях контролируемой атмосферы и/или низкого вакуума. В вакууме повышается добротность колебаний кантилевера, что позволяет увеличить чувствительность, надежность и достоверность измерений. При этом, работа уже в низком вакууме 10-2 Торр обеспечивает почти десятикратное возрастание добротности.
ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ
NTEGRA AURA является высокоэффективным исследовательским комплексом методами СЗМ в вакууме, позволяя выходить на рабочий режим значительно быстрее нежели аналогичные высоковакуумные системы, при этом вакуум, обеспечивающий десятикратное увеличение добротности, достигается всего за 1 минуту! Компактность и легкость в обслуживании являются так же серьезными преимуществами прибора.
NTEGRA AURA обладает всеми преимуществами приборов серии NTEGRA, в том числе: трехосевыми датчиками перемещения, оптикой с разрешением до 1 мкм и возможностью проведения измерений в более чем 40 методиках. NTEGRA AURA так же может быть существенно расширена, в том числе за счет измерений во внешнем магнитном поле (как горизонтальным до +/- 0,3 Т, так и вертикальным +/- 0,01 Т), и за счет модуля нагрева образца (нагревание до 300 °С с точностью поддержания температуры 0,05 °С) и т.д.
ПРИМЕНЕНИЯ
- Магнитные Материалы
- Полупроводники
- Запоминающие среды и устройства
- Наноэлектроника
- Нанообработка
- Наноманипуляции
Сканирующая Зондовая Микроскопия/методики
На воздухе и в жидкости: АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Отображение Адгезионных Сил/ Литографии: АСМ (Силовая)
Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Технические характеристики | Тип сканирования | ||
| Сканирование образцом | Сканирование зондом* | ||
| Размер образца | До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
До 100 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
|
| Вес образца | До 100 г | До 300 г | |
| XY позиционирование образца | 5×5 мм | ||
| Разрешение позиционирования | разрешение — 5 мкм минимальное перемещение — 2 мкм |
||
| Поле сканирования | 100x100x10 мкм 3x3x2,6 мкм не более 1x1x1 мкм |
100x100x10 мкм 50x50x5 мкм |
|
| До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM) | |||
| Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) |
0.1% | 0.15% | |
| Уровень шума, Z (СКВ в полосе 1000 Гц) |
С датчиками | 0.04 нм (типично), 0.06 нм |
0.06 нм (типично), 0.07 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | 0.05 нм | |
| Уровень шума, XY*** (СКВ в полосе 200 Гц) |
С датчиками | 0.2 нм (типично), 0.3 нм (XY 100 мкм) |
0.1 нм (типично), 0.2 нм (XY 50 мкм) |
| Без датчиков | 0.02 нм (XY 100 мкм), 0.001 нм (XY 3 мкм) |
0.01 нм (XY 50 мкм), | |
| Ошибка измерения линейных размеров (с датчиками) |
±0.5% | ±1.2% | |
| Система видеонаблюдения | Оптическое разрешение | 1 мкм (0.4 мкм по требованию, NA 0.7)**** |
3 мкм |
| Поле зрения | 4.5-0.4 мм | 2.0-0.4 мм | |
| Непрерывный зум | возможно | возможно | |
| Виброизоляция | Активная | 0.7-1000 Гц | |
| Пассивная | выше 1 кГц | ||
