NTEGRA ACADEMIA
Нанолаборатория на базе АСМ для обучения старшеклассников и студентов ВУЗов основам сканирующей зондовой микроскопии, включая выполнение лабораторных работ и исследовательских проектов в области нанотехнологий, физики, химии, биологии, медицины и др.
ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ
NTEGRA ACADEMIA является частью платформы NTEGRA и поддерживает более 40 методик измерения, что позволяет анализировать топографию и физико-химические свойства поверхности с высокой точностью и разрешением. Юным исследователям доступны не только кремниевые кантилеверы, но и зондовые датчики из вольфрамовой проволоки, которые позволяют сущетсвенно снизить стоимость измерений. Инструмент электрохимического отравления, позволяет затачивать вольфрамовые зонды из проволоки, что обеспечивает возможность самостоятельной подготовки зондов студентами.
Программное обеспечение Nova SPM для высокоэффективного управления СЗМ и обработки изображений. Электроника нового поколения обеспечивает работу в высокочастотных (до 5 МГц) режимах. Эта функция представляется основной для работы с высокочастотными режимами АСМ и использованием высокочастотных кантилеверов. Программное обеспечение, созданное для NTEGRA ACADEMIA позволяет реализовывать основные методики измерений с высокой наглядностью и интуитивно понятным интерфейсом.
Сканирующая Зондовая Микроскопия/методики
На воздухе и в жидкости: АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Отображение Адгезионных Сил/ Литографии: АСМ (Силовая)
Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Технические характеристики | Тип сканирования | ||
| Сканирование образцом | Сканирование зондом* | ||
| Размер образца | До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
До 100 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
|
| Вес образца | До 100 г | До 300 г | |
| XY позиционирование образца | 5×5 мм | ||
| Разрешение позиционирования | разрешение — 5 мкм минимальное перемещение — 2 мкм |
||
| Поле сканирования | 100x100x10 мкм 3x3x2,6 мкм не более 1x1x1 мкм |
100x100x10 мкм 50x50x5 мкм |
|
| До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM) | |||
| Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) |
0.1% | 0.15% | |
| Уровень шума, Z (СКВ в полосе 1000 Гц) |
С датчиками | 0.04 нм (типично), 0.06 нм |
0.06 нм (типично), 0.07 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | 0.05 нм | |
| Уровень шума, XY*** (СКВ в полосе 200 Гц) |
С датчиками | 0.2 нм (типично), 0.3 нм (XY 100 мкм) |
0.1 нм (типично), 0.2 нм (XY 50 мкм) |
| Без датчиков | 0.02 нм (XY 100 мкм), 0.001 нм (XY 3 мкм) |
0.01 нм (XY 50 мкм), | |
| Ошибка измерения линейных размеров (с датчиками) |
±0.5% | ±1.2% | |
| Система видеонаблюдения | Оптическое разрешение | 1 мкм (0.4 мкм по требованию, NA 0.7)**** |
3 мкм |
| Поле зрения | 4.5-0.4 мм | 2.0-0.4 мм | |
| Непрерывный зум | возможно | возможно | |
| Виброизоляция | Активная | 0.7-1000 Гц | |
| Пассивная | выше 1 кГц | ||
