Метод отображения сопротивления растекания

Атомно-силовая микроскопия (АСМ), помимо данных о рельефе, позволяет получить и другие параметры исследуемого объекта. Метод отображения сопротивления растекания служит для определения локального сопротивления образца.

Отображение сопротивления растекания используется при различных исследованиях. Например, для обнаружения дефектов в проводящих пленках или проведения локальных электрических измерений.

В данном методе используется проводящий зонд (обычно это зонд с нанесенным на его поверхность металлом), находящийся в контакте с поверхностью образца. Между зондом и объектом исследования прикладывается разность потенциалов и измеряется ток, протекающий через образец.

Измерение сопротивления растекания может осуществляться двумя способами:

Регистрация тока осуществляется одновременно с получением данных о рельефе.

Регистрация тока осуществляется по двухпроходной методике:

— в первом проходе измеряется рельеф поверхности (по методу постоянной силы);

— во втором проходе измеряется ток (движение зонда осуществляется датчикам на основе записанных в первом проходе данных, процесс идёт при выключенном лазере регистрации отклонения кантилевера).

Преимуществом двухпроходной методики является отсутствие паразитных токов, которые могут возникать под действием фотоэффекта.

Метод отображения сопротивления растекания довольно часто применяется для определения размеров зазора исток-сток МДП-транзистора, а также для определения степени неоднородности электрических характеристик.