Полуконтактный метод рассогласования

Полуконтактный метод, как и все, не лишен недостатков. Главным из них является ограничение скорости сканирования – она лимитируется временем срабатывания обратной связи.

Но данный недостаток можно использовать. Система обратной связи не может мгновенно возвращать амплитуду колебания кантилевера к установленному значению. Но если отслеживать это изменение амплитуды, мы получим сигнал, который будет показывать рассогласование цепи обратной связи, а также содержать дополнительную информацию о рельефе поверхности.

Именно так и происходит измерение в полуконтактном методе рассогласования, в результате которого получают изображение рельефа поверхности с одновременным измерением сигнала рассогласования.

Данный метод позволяет отслеживать мелкие неоднородности на фоне крупных и относительно гладких особенностей рельефа. Для этого необходимо отрегулировать скорость отработки сигнала рассогласования так, чтобы цепь обратной связи успевала отслеживать плавные изменения рельефа и не успевала отслеживать резкие изменения. Тогда во время прохождения зондом небольших неоднородностей поверхности образца на отсканированном изображении медленные изменения рельефа будут проявляться слабо, а резкие, наоборот, с высоким контрастом.