Силовая литография

Силовая литография основана на непосредственном механическом воздействии остроконечного зонда на поверхность образца (контактная силовая микроскопия). Зонд микроскопа перемещается по поверхности подложки с достаточно большой силой прижима — так, что на образце формируется рисунок в виде углублений (царапин). Материал извлекается («выцарапывается») из подложки, оставляя канавки с характерным сечением, определяемым формой кончика зонда. Варьируя силу прижима зонда к образцу, можно управлять шириной и глубиной получаемых канавок, а также охарактеризовать стойкость различных материалов к истиранию.

Технически силовая литография может осуществляться двумя способами: векторным и растровым. При использовании векторной методики необходим заранее заданный рисунок (зонд двигается только по нему). В растровой литографии сканирование осуществляется по всей площади участка подложки, на которой формируется рисунок. Это в свою очередь замедляет процесс, но зато позволяет задавать контрастность рисунку посредством разной силы воздействия зонда на подложку.